激光共聚焦显微镜原理是由LED光源发出的光束经过一个多孔盘和物镜后,聚焦到样品表面。之后光束经样品表面反射回测量系统。再次通过MPD上的针孔时,反射光将只保留聚焦的光点。最后,光束经分光片反射后在相机上成像。
为什么激光共聚焦显微镜成像质量更好?
1、激光共聚焦显微镜采用了激光扫描技术。与传统显微镜的广谱光源相比,激光扫描技术能够精确定位和聚焦在样品的特定区域,从而提高成像的分辨率和准确性。同时,激光扫描技术可以消除样品中的散射和背景信号,从而提高成像的对比度。同时,激光的单色性使得成像更清晰。
VT6000激光共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理,具有纳米级别的纵向分辨能力,配合高速扫描模块,专业的分析软件具有多区域、自动测量功能,能实现快速自动化测量,并提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征。
VT6000激光共聚焦显微镜依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。如:
1.对太阳能电池片微观结构进行三维形貌重建:
2.快速重建出被测晶圆激光镭射槽的三维轮廓并进行多剖面分析,获取截面的槽道深度与宽度信息:
3.对光学膜表面微结构实现快速自动化测量,提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征: