中图白光干涉仪检测仪器非接触式测量粗糙度

白光干涉仪检测仪器是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，于精密零部件之部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式测量。

在3D测量领域，白光干涉仪是精度高的测量仪器之一，中图白光干涉仪检测仪器测量精度可以达到纳米级。

表面粗糙度跟形状误差、波纹度等参数一样，是表面微观几何特征，它们共同构成了物体的表面原始形貌特征。表面二维形貌特征的分析与评定通常是对粗糙度参数进行的评定，通常把小于lmm波距的形貌特征归结为表面粗糙度，而波距在1 ~10mm之间的定义为表面波纹度，大于10mm的则属于目测可知的宏观几何形状特征。 

中图白光干涉仪检测仪器测量表面粗糙度步骤： 

1、将样品放在置物台镜头下方； 

2、检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态； 

3、使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹； 

4、完成扫描设置和命名等操作，点击开始测量； 

5、进入数据处理模块，点击校平，平面样品采用默认校平，点击右下角应用保存操作； 

6、进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准、增删参数类型； 

7、如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线； 

8、进入数据处理界面，点击提取剖面图标，选择斜线，沿垂直于纹理方向提取剖面线； 

9、进入分析工具界面，点击参数分析图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。 在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，为了反映零件表面的特征以及衡量表面的质量，表面三维微观形貌的测量就越来越重要。

中图仪器研发生产的白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。